基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置
基本信息
| 申请号 | CN202122744970.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216115234U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216115234U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | F26B15/12（2006.01）I;F26B5/16（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 李跃 | 申请（专利权）人 | 东方日升（安徽）新能源有限公司 |
| 代理机构 | 滁州创科维知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 洪余节 |
| 地址 | 239000安徽省滁州市常州路以东、海宁路以南、滁州大道以西、铜陵路以北 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了基于硅片清洗输送用的花篮干燥装置，包括轨道台，所述轨道台上侧设置有吊运架，所述吊运架内设置有两个带轮循环机构，所述带轮循环机构上设置有多个用于干燥硅片花篮端部上表面的吸水布，所述吊运架上端设有用于去除吸水布中水分的热干燥机构。本实用新型通过设置带轮循环机构，可带动多个吸水布循环滚动，进而实现对硅片花篮端部的上表面连续干燥的作用，接着，吸水后变湿的吸水布在带轮循环机构的带动下，而经过热干燥机构时，又可同时受到挤压及加热作用，而将其吸收的水分排出并蒸发掉，从而保证了吸水布时刻以干燥状态来对花篮进行干燥，干燥效果更好。 |
