一种润滑薄膜的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201410218285.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103984204A | 公开（公告）日 | 2014-08-13 |
| 申请公布号 | CN103984204A | 申请公布日 | 2014-08-13 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李丰;邓萌萌;石振;杨立梅 | 申请（专利权）人 | 南京丰强纳米科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 苏州锦元纳米科技有限公司;南京丰强纳米科技有限公司;苏州锦富技术股份有限公司 |
| 地址 | 215121 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种润滑薄膜的制备方法，包括：对基底表面上的薄膜层进行预处理；旋涂光刻胶，加热后紫外固化形成中间层；形成紫外光固化纳米压印胶层；将软质压印模板压入紫外光固化纳米压印胶层，在紫外灯下曝光；刻蚀去除未曝光处残余的紫外光固化纳米压印胶，露出中间层；以紫外光固化纳米压印胶层作为掩膜层，刻蚀中间层，露出薄膜层；以紫外光固化纳米压印胶层和中间层作为掩膜，刻蚀薄膜层，在薄膜层上形成微纳结构；去除紫外光固化纳米压印胶层和中间层，获得所需润滑薄膜。本发明利用软压印复合纳米压印技术，有效地将所需的图案转移到薄膜上，可以在不规则的非平面上制备微纳结构的润滑薄膜。具有高效，低成本，高分辨率的特点。 |
