一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构
基本信息
| 申请号 | CN201621194600.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206331229U | 公开（公告）日 | 2017-07-14 |
| 申请公布号 | CN206331229U | 申请公布日 | 2017-07-14 |
| 分类号 | G03F7/20 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杜婧;龚健文;赵立新 | 申请（专利权）人 | 四川科奥达技术有限公司 |
| 代理机构 | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李春芳;刘贤科 |
| 地址 | 610207 四川省成都市双流航空港开发区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，涉及微电子专用设备领域，包括基板和与基板连接并能在基板上旋转的旋转机构，所述旋转机构设有旋转向顶块，所述基板上还设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括能够在基板上做直线运动并驱动旋转向顶块转动的顶杆；所述旋转驱动机构还包括用于复位旋转向顶块和防止旋转向顶块做惯性运动的弹性端，所述弹性端包括连接设置的跟踪滑杆和弹性装置；所述基板上还设置有用于采集顶杆直线运动距离的光栅传感器组件；本实用新型解决了目前我国市面上的光刻机自动对准工件台旋转方向定位的精确度和成本无法兼顾的问题。 |
