一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法
基本信息
| 申请号 | CN202111219823.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114130054A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114130054A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B01D5/00（2006.01）I;B01D53/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 赵江;王富;马鑫;黄岩 | 申请（专利权）人 | 青海丽豪半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 青海中赢知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 莫文新 |
| 地址 | 810100青海省西宁市城中区创业路5层502室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种冷凝液冷量充分利用的尾气回收冷凝方法，涉及尾气回收技术领域。本发明通过S1、还原尾气通过管道进入到还原尾气氢气换热器中，进行热交换，得到一次处理尾气，氢气换热器中有温度为﹣20～‑25℃的氢气；S2、通过氯硅烷加压泵将冷凝液输入到尾气一级冷凝器中，将其中充满；S3、步骤S1中得到的一次处理尾气与氯硅烷液体进行热交换，得到氯硅烷凝液以及二次处理尾气；其中，进行热交换的氯硅烷液体的温度为﹣30～‑21℃，利用换热器作为热交换器使得壳程低温氯硅烷凝液跟管程中高温尾气相互传热，加热氯硅烷凝液的同时冷却尾气，节省三级、四级冷凝器冷量输出。 |
