一种柔性聚合物扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN202110818310.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113529021A | 公开（公告）日 | 2021-10-22 |
| 申请公布号 | CN113529021A | 申请公布日 | 2021-10-22 |
| 分类号 | C23C14/22 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 罗军;陈小曼;陈琳;庞盼;钟三子;卢艳;李肃;林志浩;刘阳波 | 申请（专利权）人 | 顺束科技（天津）合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 张德才 |
| 地址 | 301799 天津市武清区京津电子商务产业园宏旺道2号14号楼201室08号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种柔性聚合物扫描装置，涉及电子材料技术领域，包括阳极筒、磁过滤弯管、连接管、真空腔室、磁环线包、脉冲负偏压电网和绝缘支架，阳极筒、磁过滤弯管、连接管和真空腔室依次连接，磁环线包设置于磁过滤弯管和连接管之间，磁环线包中通入交流电，脉冲负偏压电网通过绝缘支架安装于真空腔室中，脉冲负偏压电网与连接管的出口位置相对应，脉冲负偏压电网远离连接管的一侧用于设置聚合物基体。本发明提供的柔性聚合物扫描装置，能够实现聚合物基体表面金属或非金属膜层的均匀沉积，提升了膜层致密性，提高了离子能量。 |
