一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置
基本信息
| 申请号 | CN202110819214.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463060A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463060A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23C14/56（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/20（2006.01）I;C23C14/46（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 罗军;陈小曼;陈琳;庞盼;钟三子;卢艳;李肃;林志浩;刘阳波 | 申请（专利权）人 | 顺束科技（天津）合伙企业（有限合伙） |
| 代理机构 | 北京高沃律师事务所 | 代理人 | 张天一 |
| 地址 | 301799天津市武清区京津电子商务产业园宏旺道2号14号楼201室08号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柔性聚合物金属沉积复合处理装置，包括放/收卷真空腔室、主体真空腔室、放/收卷装置和抽真空装置，放/收卷真空腔室和主体真空腔室之间通过狭缝一和狭缝二连通，放/收卷真空腔室内设置有放卷辊和收卷辊，主体真空腔室内设置有冷辊一、冷辊二和展平辊，展平辊分布有多个，冷辊一处设置有高功率脉冲磁控和低能离子束设备，冷辊二处设置有高功率脉冲磁控，聚合物基体膜从放卷辊开始，穿过狭缝一后经过展平辊、冷辊一、冷辊二后，经其他展平辊后穿过狭缝二回到收卷辊；抽真空装置用于放/收卷真空腔室和主体真空腔室的抽真空处理；本发明能够解决聚合物表面金属沉积的结合强度、均匀性和致密性不能满足使用要求的问题。 |
