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一种柔性聚合物处理高能离子束装置

基本信息

申请号 CN202110818293.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113539779A 公开（公告）日 2021-10-22
申请公布号 CN113539779A 申请公布日 2021-10-22
分类号 H01J37/32（2006.01）I;C08J3/28（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 罗军;陈小曼;陈琳;庞盼;钟三子;卢艳;李肃;林志浩;刘阳波 申请（专利权）人 顺束科技（天津）合伙企业（有限合伙）
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 史云聪
地址 301799天津市武清区京津电子商务产业园宏旺道2号14号楼201室08号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种柔性聚合物处理高能离子束装置，涉及聚合物材料制备装置技术领域，包括放电腔室、阳极筒和处理真空室，放电腔室的一端设有进气口，放电腔室的另一端与阳极筒的一端相连接，阳极筒的另一端与处理真空室的一端相连接；所述处理真空室内设置有卷轴聚合物基体。放电气体经电晕针产生少部分等离子体后进入放电腔室，由放电腔室外部的振荡线圈和外置线包为电子提供能量并引导电子做螺旋运动，增加电子的运动路程，增加电子与气体的碰撞概率，从而使更多气体转化为等离子体；在通过扩张杯进入阳极筒进行加速，并反射电子，避免电子进入处理真空室，从而得到处理真空室内的高纯度的高能离子束，以提高结合强度、均匀性和致密性。