衍射型光阵列波导光栅及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011380220.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112505828A | 公开（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申请公布号 | CN112505828A | 申请公布日 | 2021-03-16 |
| 分类号 | G02B6/124(2006.01)I;G02B6/136(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 徐来;周大海;徐炎 | 申请（专利权）人 | 武汉永鼎光电子技术有限公司 |
| 代理机构 | 武汉瑞创星知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘艳丽 |
| 地址 | 430079湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号海外人才大楼A座18楼195室(自贸区武汉片区) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供衍射型光阵列波导光栅及其制备方法，涉及衍射光栅技术领域，该衍射型光阵列波导光栅及其制备方法，包括光栅基材，所述光栅基材的表面形成有多个凸棱，多个所述凸棱相互平行且等间距设置，相邻的两个凸棱之间形成凹槽，多个所述凹槽中的每个凹槽的深宽比大于或等于7:1，凹槽的宽度范围为15nm至95nm。本发明提供的光栅的凹槽的宽度较小，介于15nm至95nm，深宽比较大，大于等于7:1，因此本发明提供的光栅为高密度、高深宽比的亚波长光栅，其衍射效率高，且该种光栅的凹槽的侧壁光滑、陡直，因此其散射小，使其在光谱仪器、特种干涉仪、光盘技术和光互联领域具有较好的应用。 |
