一种用于导模炉的同轴电极
基本信息
申请号 | CN201710091492.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106702477A | 公开(公告)日 | 2017-05-24 |
申请公布号 | CN106702477A | 申请公布日 | 2017-05-24 |
分类号 | C30B15/34(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 刘朝轩;王晨光 | 申请(专利权)人 | 洛阳金诺光电子材料有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区金鑫路2号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种用于导模炉的同轴电极,本发明通过在电极主体(11)上设有电极穿孔,在所述电极穿孔内设有绝缘套,所述绝缘套内设有右电极(13),在电极穿孔的下端设有密封套(15),所述密封套的外缘面与电极穿孔的内缘面之间设有密封体,密封套的内缘面与右电极的外缘面之间设有密封体,在电极穿孔的一侧设有至少一个冷却孔A(5),所述冷却孔A上端连接左电极(3),本发明通过在电极主体的外缘面上设置与右电极平行的左电极,大大简化了电极结构,进一步,由于电极主体为圆柱形结构,大大提高了电极与炉室之间的密封性能,有效的防止了炉室的泄漏等,本发明具有结构简单,密封性能好和装拆方便的特点。 |
