一种硅片超声清洗机水循环系统
基本信息
| 申请号 | CN201720040088.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206483773U | 公开（公告）日 | 2017-09-12 |
| 申请公布号 | CN206483773U | 申请公布日 | 2017-09-12 |
| 分类号 | B08B3/12(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 严徇成;张亚超;何迎辉 | 申请（专利权）人 | 淮安金太阳电力有限公司 |
| 代理机构 | 淮安市科文知识产权事务所 | 代理人 | 淮安金太阳电力有限公司 |
| 地址 | 223300 江苏省淮安市淮阴经济开发区翔宇北道608号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种硅片超声清洗机水循环系统，所述硅片超声清洗机设置有多道顺序排列的清洗水槽，多道所述清洗水槽分别通过溢流口连通有溢流水槽，所述溢流水槽包括至少两个相互隔离的腔室，位于后部的数道清洗水槽连通溢流水槽的同一腔室，该腔室通过设置有水泵的管道连通位于前部的清洗水槽。本实用新型将后部的数道清洗水槽排出的污水收集回供对清洁度要求较低的前部清洗水槽，有效降低用水量，节约资源，降低硅片的制作成本。 |
