一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法
基本信息
| 申请号 | CN201910730074.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110486617B | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN110486617B | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | F17C5/00;F17C5/06;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;B01D53/81;B01D53/78;B01D53/68;C23C26/00 | 分类 | 气体或液体的贮存或分配; |
| 发明人 | 张观海;陈艳珊;廖恒易 | 申请（专利权）人 | 广东华特气体股份有限公司 |
| 代理机构 | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 | 代理人 | 广东华特气体股份有限公司 |
| 地址 | 528000 广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种含氟混合气的配气系统，包括尾气处理装置、真空泵、吸附器、气体浓度稀释瓶、调压瓶、钢瓶组、含氟瓶、主管、钢瓶组管、排空管、抽空管、第一分管和第二分管；主管的一端连通至调压瓶，主管的另一端连通至含氟瓶；钢瓶组包括多个钢瓶，多个钢瓶分别连通至钢瓶组管，钢瓶组管连通至主管；气体浓度稀释瓶通过气体浓度稀释管连通至排空管；抽空管的一端连通至主管，抽空管的另一端连通至真空泵的输入端，真空泵的输出端连通至尾气处理装置；本发明根据上述内容提出一种含氟混合气的配气系统及其钝化方法和配重方法，能够对钢瓶内壁的进行钝化处理，也可以实现配制任何含氟比例的混合气，并且有效地处理尾气的排放。 |
