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一种高纯锗烷的纯化生产装置

基本信息

申请号 CN202021564168.2 申请日 -
公开（公告）号 CN212740763U 公开（公告）日 2021-03-19
申请公布号 CN212740763U 申请公布日 2021-03-19
分类号 C01G17/00(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 陈艳珊;曹小林 申请（专利权）人 广东华特气体股份有限公司
代理机构 佛山市禾才知识产权代理有限公司 代理人 刘羽波;资凯亮
地址 528000广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
法律状态 -

摘要

摘要 一种高纯锗烷的纯化生产装置，包括碱洗器、冷凝器、1#吸附器、2#吸附器和冷阱。碱洗器通有碱性液体，用于去除锗烷粗品中的酸性气体，碱洗器的气体输出端连通于冷凝器的气体输入端。冷凝器用于去除水分，冷凝器的气体输出端连通于1#吸附器的气体输入端。1#吸附器内装填有第一吸附剂，用于去除水分，1#吸附器的气体输出端连通于2#吸附器的气体输入端。2#吸附器内装填有第二吸附剂，用于去除水分和含锗杂质，2#吸附器气体输出端连通于冷阱的气体输入端。冷阱用于脱除氢气、氮气、氧气、氩气和一氧化碳杂质。通过设置多个纯化环节装置，分阶段地脱除锗烷粗品中的杂质，纯化装置简单，达到高纯度的纯化效果，锗烷纯化成本低。