感性耦合反应器
基本信息
| 申请号 | CN202021506953.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212322966U | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN212322966U | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | H01L21/67;H01J37/32 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴堃;杨猛 | 申请（专利权）人 | 上海邦芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201500 上海市金山区卫昌路293号2幢12638室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种感性耦合反应器，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线和下射频天线相互分立，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。所述感性耦合反应器能加强对等离子体分布的控制能力。 |
