感性耦合反应器
基本信息
| 申请号 | CN202021506952.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212322965U | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN212322965U | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴堃 | 申请（专利权）人 | 上海邦芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201500上海市金山区卫昌路293号2幢12638室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合等离子体源；所述感性耦合等离子体源包括：第一反应介质室；位于第一反应介质室上方的第二反应介质室，所述第二反应介质室的底部和所述第一反应介质室的顶部中间区域贯通，所述第二反应介质室的侧壁底部延伸至所述第一反应介质室内且高度可调；位于所述第一反应介质室侧部的下射频天线；位于所述第二反应介质室侧部的上射频天线；所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。所述感性耦合反应器能够加强对等离子分布的控制能力。 |
