等离子约束装置及等离子体设备
基本信息
| 申请号 | 2020212339741 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212411997U | 公开（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申请公布号 | CN212411997U | 申请公布日 | 2021-01-26 |
| 分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴堃;杨猛 | 申请（专利权）人 | 上海邦芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 201500上海市金山区卫昌路293号2幢12638室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种等离子约束装置及等离子体设备，包括相独立的导电元件和接地元件，所述导电元件位于所述接地元件上方，并与所述接地元件单端电连接。本实用新型导电元件和接地元件的单端电连接，降低了电位，使得等离子体与之碰撞后的残余电荷更容易被接地导走，增加了约束效果；导电元件和接地元件分离，增加了系统的稳定性和维护的方便。 |
