一种电感耦合等离子体装置
基本信息
| 申请号 | CN202110643823.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113223916A | 公开（公告）日 | 2021-08-06 |
| 申请公布号 | CN113223916A | 申请公布日 | 2021-08-06 |
| 分类号 | H01J37/32（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 吴堃 | 申请（专利权）人 | 上海邦芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海创开专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李兰兰 |
| 地址 | 201500上海市金山区卫昌路293号2幢12638室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种电感耦合等离子体装置，包括：反应腔主体，所述反应腔主体的顶壁包括介质窗；位于介质窗顶部的电感线圈；位于介质窗顶部的若干分立的磁性元件，所述磁性元件至少被部分圈的电感线圈包围且与电感线圈分立。所述电感耦合等离子体装置能够调节反应腔主体内部的等离子体密度分度且结构简单。 |
