防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物
基本信息
| 申请号 | CN200980155620.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102301282A | 公开（公告）日 | 2011-12-28 |
| 申请公布号 | CN102301282A | 申请公布日 | 2011-12-28 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 山崎勇人;藤冈东洋藏 | 申请（专利权）人 | 山东信敏惠化工集团有限公司 |
| 代理机构 | 中国专利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 孙秀武;高旭轶 |
| 地址 | 日本东京都千代田区丸之内３丁目１番１号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物，通过含有极性有机溶剂（A）、有机胺化合物（B）以及由芳香族多羟基化合物和糖类的组合构成的防腐蚀剂（C）的该防腐蚀性光致抗蚀剂剥离剂组合物，从而在宽泛的温度区域内并且在水存在条件下及不存在条件下对铜和铝这两者均表现出优异的防腐蚀效果。 |
