抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法
基本信息
| 申请号 | CN201080006366.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102301283B | 公开（公告）日 | 2014-10-08 |
| 申请公布号 | CN102301283B | 申请公布日 | 2014-10-08 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 藤冈东洋藏;山崎勇人 | 申请（专利权）人 | 山东信敏惠化工集团有限公司 |
| 代理机构 | 中国专利代理（香港）有限公司 | 代理人 | 出光兴产株式会社;山东庆云长信化学科技有限公司 |
| 地址 | 日本东京都 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供即使在溶解有抗蚀剂的状态下也得到充分的剥离性能的、可以长期使用的抗蚀剂剥离剂组合物以及使用该组合物的抗蚀剂剥离方法，所述抗蚀剂剥离剂组合物含有下式(1)所示的酰胺类溶剂(A)和有机胺化合物(B)，所述抗蚀剂剥离方法的特征在于，使用该抗蚀剂剥离剂组合物。式中，R1为碳原子数为1～6的直链状、支链状或环状烷基，R2和R3分别独立地为碳原子数为1～3的直链状或支链状烷基。n为0～2的整数。 |
