一种改变离子束方向的装置
基本信息
| 申请号 | CN201811563816.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109786194A | 公开（公告）日 | 2019-05-21 |
| 申请公布号 | CN109786194A | 申请公布日 | 2019-05-21 |
| 分类号 | H01J37/08（2006.01）I; H01J37/302（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 叶文君; 梁晗 | 申请（专利权）人 | 丰豹智能科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市科吉华烽知识产权事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴肖敏 |
| 地址 | 201306 上海市浦东新区南汇新城镇水芸路300号703A | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种改变离子束方向的装置及方法，包括离子源，用于发射离子束；金属整体，用于调整所述离子束的反射方向，使所述离子束的反射方向与所述金属整体所在平面之间的夹角为第一夹角θ，0°≤第一夹角θ＜90°。本发明极大程度上提高了产品性能，使用率得到极大的延长，减少成本，符合现代化工业需求，在金属整体表面均匀设置球孔，增加了表面积，提高对此工艺产生的副产品的吸附并且可以有效的散热，更适合长时间工作。 |
