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新单晶硅太阳能电池制作方法

基本信息

申请号 CN201110265114.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102315327B 公开（公告）日 2013-10-16
申请公布号 CN102315327B 申请公布日 2013-10-16
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张衡 申请（专利权）人 浙江向日葵大健康科技股份有限公司
代理机构 绍兴市越兴专利事务所 代理人 张谦
地址 312000 浙江省绍兴市越城区斗门街道三江东路22号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种新单晶硅太阳能电池制作方法，属于单晶硅太阳能电池的生产技术领域，以单晶硅片为原料，包括如下步骤：⑴去除单晶硅片表面的损伤层；⑵扩散制pn结；⑶去边缘结，去磷硅玻璃；⑷采用化学气相沉积方法制备金刚石薄膜；⑸丝网印刷，烧结制作电极。本发明用化学气相沉积方法制备金刚石薄膜作为单晶硅太阳能电池的减反射织构，所得角锥体的粒径，在0.5～5μm范围。