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一种用于金刚线切割多晶硅片制绒的添加剂及方法

基本信息

申请号 CN201810066561.X 申请日 -
公开（公告）号 CN108330545A 公开（公告）日 2018-07-27
申请公布号 CN108330545A 申请公布日 2018-07-27
分类号 C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 黄燕 申请（专利权）人 浙江向日葵大健康科技股份有限公司
代理机构 绍兴市越兴专利事务所（普通合伙） 代理人 蒋卫东
地址 312000 浙江省绍兴市袍江工业区三江路
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种用于金刚线切割多晶硅片制绒的添加剂及方法，由以下组分配制而成：醋酸、三乙醇胺、十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、柠檬酸三胺、全氟聚醚、氢氟酸、水；所述醋酸、三乙醇胺、十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、柠檬酸三胺、全氟聚醚、氢氟酸、水之间的摩尔比为15~25：10~25：1~10：15~25：1~10：1~10：1~5：20~100。本发明制绒添加剂可以使硅片腐蚀坑内结构更加精细化，形成更多更小的微腐蚀坑，表面的孔隙率更高，表面腐蚀坑孔洞更为密集，腐蚀坑尺寸减小，且在腐蚀坑的边缘与底部产生一些小的孔洞结构，大大降低硅片反射率。