一种单晶炉加热系统的控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202110453315.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113136620A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113136620A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | C30B15/20;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 武绚丽;孙须良;颜玉峰 | 申请（专利权）人 | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐颖聪 |
| 地址 | 655000 云南省曲靖市曲靖经济技术开发区光伏一号路以东、南海大道以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种单晶炉加热系统的控制方法，包括步骤S1，获取单晶炉内液体的预定位置处的亮度值；步骤S2，根据所述亮度值控制所述加热系统。根据本发明实施例的单晶炉加热系统的控制方法，无需SP参与控制，通过单晶炉内液体的亮度值来代替测温，避免通过人工判定来调节SP值，不仅能够实现温度的准确调节，且降低对工作人员的操作要求，进一步提高单晶炉调温过程的自动化程度以及稳温效果。 |
