一种单晶炉用气体过滤罐
基本信息
申请号 | CN202120148294.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215609998U | 公开(公告)日 | 2022-01-25 |
申请公布号 | CN215609998U | 申请公布日 | 2022-01-25 |
分类号 | B01D46/02(2006.01)I;B01D46/04(2006.01)I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
发明人 | 武绚丽;董朝海;颜玉峰 | 申请(专利权)人 | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐颖聪 |
地址 | 655000云南省曲靖市曲靖经济技术开发区光伏一号路以东、南海大道以南 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提供一种单晶炉用气体过滤罐,包括:上封头,所述上封头顶端设有可打开/关闭的出气口;罐体,所述罐体连接于所述上封头的下端且所述罐体外部侧面设有可打开/关闭的保养门,所述罐体内部用于容纳过滤袋;延伸部,所述延伸部连接于所述罐体下端;下封头,所述下封头连接于所述延伸部的底端且所述下封头外部侧面设有可打开/关闭的进气口。根据本实用新型实施例的一种单晶炉用加长过滤罐,在罐体连接处增加延伸部,使得过滤罐高度增加,从而能够容纳更多的滤袋数量,增大了底部挥发物的放置空间,提升了过滤罐的过滤性能。 |
