单晶硅棒的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111435031.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114086243A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114086243A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 宋克冉;杨西虎;颜玉峰 | 申请（专利权）人 | 曲靖晶龙电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘煜 |
| 地址 | 655000云南省曲靖市曲靖经济技术开发区光伏一号路以东、南海大道以南 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种单晶硅棒的制备方法，包括：向坩埚中装料；所述装料的方法包括：按照硅原料的形状将所述硅原料分成不规则块状硅和球形硅；将不规则块状硅按照尺寸大小分成第一尺寸的块状硅、第二尺寸的块状硅和第三尺寸的块状硅，尺寸大小用于表示位于块状硅上的相距最远的两个点间的距离；将第一尺寸的块状硅铺设于所述坩埚底部；在铺设的第一尺寸的块状硅之上分别铺设第二尺寸的块状硅和球形硅，其中，第二尺寸的块状硅沿所述坩埚内侧壁进行铺设，以使球形硅包裹在所述第二尺寸的块状硅和第一尺寸的块状硅之间；在第二尺寸的块状硅和球形硅上铺设第三尺寸的块状硅，以使所述球形硅被封盖。该方法可以更好的保护坩埚，防止氢跳，降低成本。 |
