一种光刻机间隙曝光控制装置
基本信息
| 申请号 | CN202122138240.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215867503U | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN215867503U | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请（专利权）人 | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市蜀山区望江路西湖国际C座2324-25室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种光刻机间隙曝光控制装置，涉及微电子专用设备技术领域，包括工作台，所述工作台上固定连接有固定架，所述固定架顶部固定连接有电动机，所述电动机输出端固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆下端转动插接在工作台上，所述螺纹杆上螺纹设置有升降板，所述承载板固定安装在升降板上，所述升降板底部固定安装有物镜，所述升降板上固定安装有润滑瓶。本实用新型中，采用润滑瓶、通孔、海绵，在润滑瓶内部的润滑油对海绵进行润湿，然后润滑油通过通孔，滴落在螺纹杆上，从而能够对该螺纹杆进行润滑，使得升降板在升降的过程中更加的顺畅，降低机械设备的磨损，避免造成卡死等现象，从而能够保证升降时的精度。 |
