一种掩膜版自动传输装置
基本信息
| 申请号 | CN202023309924.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215478248U | 公开（公告）日 | 2022-01-11 |
| 申请公布号 | CN215478248U | 申请公布日 | 2022-01-11 |
| 分类号 | B65G47/91（2006.01）I | 分类 | 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料; |
| 发明人 | 周杰;张琪;李俊毅;符友银 | 申请（专利权）人 | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州君度专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 乐俊 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市经开区桃花工业园繁华大道工投立恒工业广场B-3-1东 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种掩膜版自动传输装置，包括两个对称设置的端板，两个端板之间分别通过限位杆和螺杆连接，限位杆上滑动套接有滑座，滑座与螺杆螺纹连接，螺杆的端部与安装在端板上的驱动电机输出端连接，滑座的端部连接有安装板，安装板远离滑座的一侧设有两个平行设置的安装杆。本实用新型结构简单，根据掩膜版的尺寸大小，驱动齿轮带动两个齿条相互远离或靠近，从而实现两个安装杆间距调节，可根据掩膜版的大小进行调节，提高其适用性，然后利用电动吸盘吸附掩膜版，实现灵活抓取，并在驱动电机的驱动下，螺杆带动滑座和连接在其上的安装板移动，实现掩膜版的传递，便于掩膜版位置切换。 |
