一种用于光刻机工艺的自动对焦装置
基本信息
| 申请号 | CN202122138184.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215769356U | 公开（公告）日 | 2022-02-08 |
| 申请公布号 | CN215769356U | 申请公布日 | 2022-02-08 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I;H05K3/06（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 周杰;张琪;符友银;李俊毅 | 申请（专利权）人 | 安徽睿芯半导体科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥律众知识产权代理有限公司 | 代理人 | 侯克邦 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市蜀山区望江路西湖国际C座2324-25室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于光刻机工艺的自动对焦装置，涉及xxx技术领域。本实用新型包括旋转底座，设于旋转底座上的多个升降杆，以及设于升降杆上并用于对PCB板位于光刻机内部进行调节角度对焦曝光的调节机构；调节机构包括设于升降杆顶端的调节组件，以及设于调节组件上并用于固定PCB板的承载板。本通过调节对不PCB的角度进行调节进行对焦，同时可根据不同类型的PCB板进行不同角度的调节对焦，即可依次进行曝光、收取和放入待曝光的PCB板，提高工作效率。 |
