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一种低浓度高测量精度的氮氧传感器陶瓷芯片

基本信息

申请号 CN202110420449.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113125542A 公开（公告）日 2021-07-16
申请公布号 CN113125542A 申请公布日 2021-07-16
分类号 G01N27/407;G01N27/41 分类 测量；测试;
发明人 皇晓辉;郝军朋;陆克军 申请（专利权）人 连云港感瓷电子科技有限公司
代理机构 连云港联创专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 刘刚
地址 222000 江苏省连云港市东海县高新技术开发区光明路38号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种低浓度高测量精度的氮氧传感器陶瓷芯片，包括第一功能层，第一功能层的底部设有第二功能层，第二功能层的底部设有第三功能层，第三功能层的底部设有第四功能层，第四功能层的底部设有第五功能层，第五功能层的底部设有第六功能层，第一功能层的顶部一端固定连接有上引脚电极，第六功能层的底部相对上引脚电极的位置固定连接有下引脚电极，本发明的有益效果：通过加热器的方阻设计满足了氮氧传感器芯片对温度的要求；通过主泵电极面积设计提高了主泵、辅助泵、测量泵的泵能能力；通过独立的测量空腔设计、进气通道的扩散障设计、各信号电极的绝缘设计等实现了低氮氧浓度下，使其具有较高的测量精度。