抗蚀剂剥离剂
基本信息
| 申请号 | CN201410616709.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104503211B | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN104503211B | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | G03F7/42 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 青岛华仁技术孵化器有限公司 |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 苏雪雪 |
| 地址 | 266071 山东省青岛市市南区香港中路32号五矿大厦801-A室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种抗蚀剂剥离剂，其原料包括防腐蚀剂、胺化合物预混物、有机溶剂、去离子水和C2～C15一元醇。本发明提供的提供剥离性优异、安全，且不会腐蚀导电体的防腐蚀性优异的抗蚀剂剥离剂，其剥离性效果较本发明之前提供的抗蚀剂剥离剂的效果更好，且防腐蚀性效果更好，由于防腐蚀剂在抗蚀剂剥离剂中的使用量更低，降低企业生产成本。 |
