压力传感器的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201110168383.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102840939A | 公开（公告）日 | 2012-12-26 |
| 申请公布号 | CN102840939A | 申请公布日 | 2012-12-26 |
| 分类号 | G01L1/22(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 贾庆锋 | 申请（专利权）人 | 江苏恩泰传感器有限公司 |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏恩泰传感器有限公司;贾庆锋 |
| 地址 | 224051 江苏省盐城市盐黄公路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种压力传感器的制作方法，包括：提供覆盖有膜片的底座，在膜片上印刷多个硅酸盐模片；对硅酸盐模片进行第一次烧结，使硅酸盐模片形成与膜片粘连的硅酸盐薄片；在硅酸盐薄片上设置一个硅应变计或多个相互独立的硅应变计；对硅酸盐薄片进行第二次烧结，使硅应变计部分浸入部分外露于硅酸盐薄片，并且使硅应变计与膜片绝缘。本发明提供的压力传感器的制作方法，硅酸盐薄片的热膨胀系数与硅应变计的热膨胀系数相近，环境温度的变化不会导致硅酸盐薄片与硅应变计之间发生断裂，避免了硅应变计由于与膜片不再绝缘而被击穿。 |
