一种压力传感器
基本信息
申请号 | CN201110168208.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN102840946A | 公开(公告)日 | 2012-12-26 |
申请公布号 | CN102840946A | 申请公布日 | 2012-12-26 |
分类号 | G01L9/04(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 贾庆锋 | 申请(专利权)人 | 江苏恩泰传感器有限公司 |
代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 江苏恩泰传感器有限公司;贾庆锋 |
地址 | 224051 江苏省盐城市盐黄公路18号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提出一种压力传感器包括底座,所述底座上覆盖有膜片,压力传感器还包括硅酸盐薄片以及硅应变计,所述硅酸盐薄片与所述膜片粘连,所述硅应变计部分浸入部分外露于所述硅酸盐薄片,并且所述硅应变计与所述膜片绝缘。本发明提供的压力传感器,硅应变计通过硅酸盐薄片与膜片间接连接,硅酸盐薄片的热膨胀系数与硅应变计的热膨胀系数相近,环境温度的变化不会导致硅酸盐薄片与硅应变计之间发生断裂,避免了硅应变计由于与硅酸盐薄片发生断裂后,硅应变计与膜片不再绝缘而被击穿。 |
