一种压力传感器

基本信息

申请号 CN201110168208.0 申请日 -
公开(公告)号 CN102840946A 公开(公告)日 2012-12-26
申请公布号 CN102840946A 申请公布日 2012-12-26
分类号 G01L9/04(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 贾庆锋 申请(专利权)人 江苏恩泰传感器有限公司
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 江苏恩泰传感器有限公司;贾庆锋
地址 224051 江苏省盐城市盐黄公路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种压力传感器包括底座,所述底座上覆盖有膜片,压力传感器还包括硅酸盐薄片以及硅应变计,所述硅酸盐薄片与所述膜片粘连,所述硅应变计部分浸入部分外露于所述硅酸盐薄片,并且所述硅应变计与所述膜片绝缘。本发明提供的压力传感器,硅应变计通过硅酸盐薄片与膜片间接连接,硅酸盐薄片的热膨胀系数与硅应变计的热膨胀系数相近,环境温度的变化不会导致硅酸盐薄片与硅应变计之间发生断裂,避免了硅应变计由于与硅酸盐薄片发生断裂后,硅应变计与膜片不再绝缘而被击穿。