硅片切割废砂浆分离提纯方法

基本信息

申请号 CN201110006158.6 申请日 -
公开(公告)号 CN102108317B 公开(公告)日 2012-12-05
申请公布号 CN102108317B 申请公布日 2012-12-05
分类号 C10M175/00(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I 分类 石油、煤气及炼焦工业;含一氧化碳的工业气体;燃料;润滑剂;泥煤;
发明人 郭锐 申请(专利权)人 陕西咸阳秦都农村商业银行股份有限公司
代理机构 西安创知专利事务所 代理人 谭文琰
地址 712000 陕西省咸阳市秦都区高新区永昌路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种硅片切割废砂浆分离提纯方法,包括以下步骤:一、废砂浆固液分离,获得固体分离物和混合液一;二、PEG分离及回收:对混合液一依次进行三级过滤、树脂处理和真空蒸馏后,获得PEG成品;三、晶体硅粉分离及回收:对固体分离物进行多次沉降分选及固液分离后,再对所获得固体过滤物进行酸洗、过滤、脱水及烘干处理,获得晶体硅粉;四、SiC微粉分离及回收:经多次沉降分选及固液分离处理后的沉淀层依次进行碱洗、固液分离及水洗、酸洗和固液分离、水洗及干燥处理,获得SiC微粉。本发明设计合理、方法步骤简单、操作简便、效率高且投入及运行成本低、易于规模化生产,所分离提纯的PEG、晶体硅粉和SiC微粉的品质优良。