一种太阳能电池扩散深结制备方法

基本信息

申请号 CN202010921289.6 申请日 -
公开(公告)号 CN112164733A 公开(公告)日 2021-01-01
申请公布号 CN112164733A 申请公布日 2021-01-01
分类号 H01L31/18;H01L31/0352 分类 基本电气元件;
发明人 赵树宝;张青;董洋 申请(专利权)人 山西潞阳光伏科技有限公司
代理机构 太原市科瑞达专利代理有限公司 代理人 山西潞阳光伏科技有限公司
地址 046000 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及太阳能电池生产领域。一种太阳能电池扩散深结制备方法,步骤一、制备一层SiO2层;步骤二、通过两次沉积在硅片表面制备恒定杂质磷源;步骤三、将磷原子推进至硅片内,形成PN结;步骤四、进行补扩散;步骤五、制备后氧化层;步骤六、在硅片表面再次沉积杂质磷源。步骤一前制备减反射绒面。本发明的有益效果是:在不改变整体方阻及工艺时间的情况下,有效增加PN结深和结区磷浓度差,提高电池片Uoc及FF,从而提高电池转换效率。