一种太阳能电池扩散深结制备方法
基本信息
申请号 | CN202010921289.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112164733A | 公开(公告)日 | 2021-01-01 |
申请公布号 | CN112164733A | 申请公布日 | 2021-01-01 |
分类号 | H01L31/18;H01L31/0352 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 赵树宝;张青;董洋 | 申请(专利权)人 | 山西潞阳光伏科技有限公司 |
代理机构 | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人 | 山西潞阳光伏科技有限公司 |
地址 | 046000 山西省长治市郊区漳泽新型工业园区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及太阳能电池生产领域。一种太阳能电池扩散深结制备方法,步骤一、制备一层SiO2层;步骤二、通过两次沉积在硅片表面制备恒定杂质磷源;步骤三、将磷原子推进至硅片内,形成PN结;步骤四、进行补扩散;步骤五、制备后氧化层;步骤六、在硅片表面再次沉积杂质磷源。步骤一前制备减反射绒面。本发明的有益效果是:在不改变整体方阻及工艺时间的情况下,有效增加PN结深和结区磷浓度差,提高电池片Uoc及FF,从而提高电池转换效率。 |
