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一种温度校准装置

基本信息

申请号 CN201921304194.9 申请日 -
公开（公告）号 CN211170962U 公开（公告）日 2020-08-04
申请公布号 CN211170962U 申请公布日 2020-08-04
分类号 C30B25/16(2006.01)I 分类 -
发明人 李辉;朱金华;周国军 申请（专利权）人 北京中科优唯科技有限公司
代理机构 北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 北京中科优唯科技有限公司
地址 100176北京市大兴区经济技术开发区经海五路58号院5号楼7层708室
法律状态 -

摘要

摘要 本专利公开了一种温度校准装置，包括：真空腔室；所述腔室的顶部开设有观察窗；测温设备，设置在所述真空腔室顶部，所处测温装置包括温度传感器和反射率传感器，所述温度传感器和反射率传感器与所述观察窗相对设置从而透过观察窗观察所述真空腔室内部的镀铝外延片；石墨基片托盘，设置在所述真空腔室中，所述镀铝外延片设置在所述石墨基片托盘之上，在所述石墨基片托盘的下端固定连接有旋转轴与所述旋转轴连接。通过设置上述旋转的检测方案检测温度和反射率从而得到准确的温度校准数值。