一种高纯碳化硅粉料的制备方法
基本信息
申请号 | CN201710019523.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106698436B | 公开(公告)日 | 2018-10-19 |
申请公布号 | CN106698436B | 申请公布日 | 2018-10-19 |
分类号 | C01B32/977 | 分类 | 无机化学; |
发明人 | 高超;宗艳民;朱灿;李加林;李长进 | 申请(专利权)人 | 山东天岳晶体材料有限公司 |
代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 赵斌;苗峻 |
地址 | 250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明属于新材料加工技术领域,发明人提供了一种全新的高纯碳化硅粉料的制备方法,该方法以高纯度硅烷和高纯度碳粉为原料,搭配使用对应的多孔石墨坩埚和石墨托盘组,在惰性气体的保护下可以获得高纯度的碳化硅粉料;采用这种方法,避免了其他物质带入的杂质,通过纯石墨制备的器具进行反应,在保证纯度的同时达到了碳化硅粉料生产所需的条件,为高纯度碳化硅粉料的生产提供了一种全新的路径,填补了现有技术的空白。 |
