一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚

基本信息

申请号 CN201610835100.5 申请日 -
公开(公告)号 CN106521629B 公开(公告)日 2018-12-28
申请公布号 CN106521629B 申请公布日 2018-12-28
分类号 C30B29/36;C30B9/10 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 朱灿;李斌;张亮 申请(专利权)人 山东天岳晶体材料有限公司
代理机构 济南舜源专利事务所有限公司 代理人 赵斌;苗峻
地址 250118 山东省济南市槐荫区美里湖美里路中段
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚,该方法采用同步熔化助溶剂的方式获得高碳溶解度的液体硅溶液,实现该方法的坩埚包括坩埚体,所述坩埚体内壁上设置有凹槽,所述凹槽一端设置有挡板,所述凹槽末端底部均匀设置有小细孔;采用这种方法和相应结构的坩埚,可以解决制备碳化硅过程中助溶剂熔点不同导致熔化不同步的问题,使熔化的区间缩短,形成固定化学配比的液态硅溶液,提高碳的溶解度,保证晶体的快速生长。