一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚
基本信息
申请号 | CN201610835100.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106521629B | 公开(公告)日 | 2018-12-28 |
申请公布号 | CN106521629B | 申请公布日 | 2018-12-28 |
分类号 | C30B29/36;C30B9/10 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 朱灿;李斌;张亮 | 申请(专利权)人 | 山东天岳晶体材料有限公司 |
代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 | 代理人 | 赵斌;苗峻 |
地址 | 250118 山东省济南市槐荫区美里湖美里路中段 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚,该方法采用同步熔化助溶剂的方式获得高碳溶解度的液体硅溶液,实现该方法的坩埚包括坩埚体,所述坩埚体内壁上设置有凹槽,所述凹槽一端设置有挡板,所述凹槽末端底部均匀设置有小细孔;采用这种方法和相应结构的坩埚,可以解决制备碳化硅过程中助溶剂熔点不同导致熔化不同步的问题,使熔化的区间缩短,形成固定化学配比的液态硅溶液,提高碳的溶解度,保证晶体的快速生长。 |
