一种液相生长碳化硅的籽晶轴及方法
基本信息
| 申请号 | CN201610505971.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106012021B | 公开（公告）日 | 2019-04-12 |
| 申请公布号 | CN106012021B | 申请公布日 | 2019-04-12 |
| 分类号 | C30B29/36;C30B15/32 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 朱灿;王晓;宋建;李斌 | 申请（专利权）人 | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 代理机构 | 济南千慧专利事务所（普通合伙企业） | 代理人 | 吴绍群 |
| 地址 | 250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种液相生长碳化硅的籽晶轴及方法，属于碳化硅生长技术领域。本发明所述的籽晶轴包括石墨轴，在石墨轴的下端连接有石墨轴帽；所述的石墨轴帽为中空结构。本发明解决了传统生长方法高速生长带来的多型、包裹体和应力等问题，可方便的调控温度梯度，使晶体既保证生长速度的同时，又能保证晶体质量。 |
