一种表面形貌测量装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202110481723.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113188473A | 公开（公告）日 | 2021-07-30 |
| 申请公布号 | CN113188473A | 申请公布日 | 2021-07-30 |
| 分类号 | G01B11/24（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I;G06T3/40（2006.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/55（2017.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 杜艳伟;郑军 | 申请（专利权）人 | 聚时科技（上海）有限公司 |
| 代理机构 | 湖北天领艾匹律师事务所 | 代理人 | 胡振宇 |
| 地址 | 200000上海市杨浦区杨树浦路2300号3B层B02-59室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及芯片表面测量技术领域，公开了一种表面形貌测量装置及方法，包括光源单元、分束装置、探测装置和运动台，运动台与探测装置之间还设置有检测台，待检测样品放置于检测台，运动台带动探测装置或者检测台使二者之间产生相对运动；分束装置接收待检测样品的反射光束的光轴与运动平台的法线之间存在夹角θ，通过所拍摄图像前后存在的重叠区域的清晰程度来评估所拍摄图片的离焦量，通过离焦量计算样品表面的立体高度信息，得到大大超出分束装置实际景深的组合图像，用于对样品表面形貌详细检测。通过分束装置与运动台的倾斜配置和配合，可以实现尺寸大、高度变化范围大的待测样品的表面形貌3D测量和检测，提高了检测效率。 |
