一种半导体设备数据采集仪器及其使用方法
基本信息
| 申请号 | CN202110334835.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113065539A | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN113065539A | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | G06K9/20;H04N5/765;H04Q1/02 | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 曹海霞;孙俊杰;张伟江;金毅 | 申请（专利权）人 | 南京东道电子装备技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京翔瓯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张利靖 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市江宁区景祐路33号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种半导体设备数据采集仪器及其使用方法，包括壳体，所述壳体内设置有电路板，所述电路板上设置有若干接口，所述壳体上开设有与接口相适配的开口，电路板上设置有采样芯片，所述采集仪器VGA数据线连接电脑的VGA显示器，直接读取电脑中的数据，通过OCR识别单元数据流内容，所述采集仪器基于MQTT或SECS协议传输完成数据读取工作。本发明针对基于linux平台设计的产品，读取产品内数据，连接简单快捷，无须在客户设备安装任何软件，只需将仪器VGA端口与VGA显示器端口连接，高精度采样芯片能够准确读取数据，采用智能高效的识别算法精准读取数据。 |
