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一种OLEDarray制程用正性光刻胶

基本信息

申请号	CN202010306398.7	申请日	-
公开（公告）号	CN111381445A	公开（公告）日	2020-07-07
申请公布号	CN111381445A	申请公布日	2020-07-07
分类号	G03F7/039(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I	分类	-
发明人	卞玉桂;张兵;向文胜;赵建龙;陈小华;朱坤;陆兰;顾群艳	申请（专利权）人	艾森半导体材料（南通）有限公司
代理机构	北京科亿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	艾森半导体材料（南通）有限公司
地址	226000江苏省南通市崇川区南通市开发区星湖大道1692号21(22)幢12217室
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种OLED array制程用正性光刻胶，其包括混合酚醛树脂、光敏剂、溶剂、剂添加、流平剂；所述混合酚醛树脂包括2,4‑二甲基苯酚占比60～70％、3,5‑二甲基苯酚占比10～30％、2,6‑二甲基苯酚占比10～30％，所述2,4‑二甲基苯酚的分子量为3000～4000，所述3,5‑二甲基苯酚的分子量为2000～3000；所述光敏剂的结构式为：其中，R1、R2、R3、R4、R5、R6为C1～C6直链或支链烷基、C1～C6甲氧基、C1～C6乙氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基、硝基中的一种或多种；A、B是独立的包含甲氧基、乙氧基、氧原子、C1～C6直链或支链烷基中的一种或多种混合物。本发明在不改变光刻胶在尺寸面板上的其他性能的前提下，大大提高了光刻胶的分辨率和感度。