一种多晶硅反应器沉积载体
基本信息
| 申请号 | CN202122333856.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215668290U | 公开（公告）日 | 2022-01-28 |
| 申请公布号 | CN215668290U | 申请公布日 | 2022-01-28 |
| 分类号 | C30B28/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 郭荣;徐岩;曹得财;陈文凯;张艺钟 | 申请（专利权）人 | 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 张一军;李阳 |
| 地址 | 719208陕西省榆林市佳县工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅反应器沉积载体，包括桥架和两根硅芯；其中，所述桥架两端分别设置有钻孔，并且在每个钻孔所在端部的顶端设置倒角；所述硅芯的一端部呈锥形，并且两根硅芯分别通过呈锥形的端部搭接至所述桥架两端的钻孔中。该实施方式能够解决多晶硅生产成品率低的问题。 |
