一种硅烷卸载系统

基本信息

申请号 CN202121081378.0 申请日 -
公开(公告)号 CN215674737U 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN215674737U 申请公布日 2022-01-28
分类号 F17C5/06(2006.01)I;F17C7/02(2006.01)I;F17C13/00(2006.01)I;F17C13/02(2006.01)I;F17D1/04(2006.01)I;F17D1/08(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;F17D5/00(2006.01)I 分类 气体或液体的贮存或分配;
发明人 常璟春;徐岩;陈晓冬;尚明达;刘思远;兰天鹏;李梦东 申请(专利权)人 陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 张一军;李阳
地址 719208陕西省榆林市榆佳工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种硅烷卸载系统,包括硅烷加压装置、硅烷储罐以及与所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器;其中,外购硅烷槽车通过管线将硅烷气输送至硅烷加压装置进行处理,处理后的硅烷气输送至硅烷储罐储存;待下游调试或生成时,通过所述硅烷储罐配套的冷凝器和蒸发器对硅烷气分别进行冷凝和升压,直至外购硅烷槽车内气压与所述硅烷储罐内的气压一致或所述硅烷储罐液位保持不变,完成硅烷卸载。该实施方式能够解决现有没有专门应用于硅烷卸载处理的问题。