一种气体中微量杂质分析装置及方法
基本信息
申请号 | CN201510318727.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104931615B | 公开(公告)日 | 2018-03-23 |
申请公布号 | CN104931615B | 申请公布日 | 2018-03-23 |
分类号 | G01N30/02 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 闫云;刘晓林;董云峰;代伟娜;许东海;黄国庆;陈欢;石晶;李晓昆 | 申请(专利权)人 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 |
代理机构 | 北京理工大学专利中心 | 代理人 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所;中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司 |
地址 | 056027 河北省邯郸市展览路17号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种气体中微量杂质分析装置及方法,属于气相色谱分析领域。所述装置包括:切换阀Ⅰ、切换阀Ⅱ、切换阀Ⅲ、切换阀Ⅳ,以及载气Ⅰ、载气Ⅱ、载气Ⅲ和载气Ⅳ四路载气气路;其中,切换阀Ⅰ上设有两个定量管,分别为定量管I和定量管II;切换阀Ⅰ和切换阀Ⅱ之间设有第一分子筛柱,在切换阀Ⅲ和切换阀Ⅳ之间设有第二分子筛柱,在切换阀Ⅰ和切换阀Ⅳ之间设有Porapak Q柱,在切换阀Ⅲ上设有脱氧柱和三通转换阀。本发明还提供了一种气体中微量杂质分析方法,只需一次进样的即可完成所有微量杂质的分析,能够分析包括氧气在内的多种高纯气、超纯气及其混合气中的微量杂质,节约分析成本,简化进样操作,加快分析速度。 |
