一种气体中微量杂质分析装置及方法

基本信息

申请号 CN201510318727.9 申请日 -
公开(公告)号 CN104931615B 公开(公告)日 2018-03-23
申请公布号 CN104931615B 申请公布日 2018-03-23
分类号 G01N30/02 分类 测量;测试;
发明人 闫云;刘晓林;董云峰;代伟娜;许东海;黄国庆;陈欢;石晶;李晓昆 申请(专利权)人 中国船舶重工集团公司第七一八研究所
代理机构 北京理工大学专利中心 代理人 中国船舶重工集团公司第七一八研究所;中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司
地址 056027 河北省邯郸市展览路17号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种气体中微量杂质分析装置及方法,属于气相色谱分析领域。所述装置包括:切换阀Ⅰ、切换阀Ⅱ、切换阀Ⅲ、切换阀Ⅳ,以及载气Ⅰ、载气Ⅱ、载气Ⅲ和载气Ⅳ四路载气气路;其中,切换阀Ⅰ上设有两个定量管,分别为定量管I和定量管II;切换阀Ⅰ和切换阀Ⅱ之间设有第一分子筛柱,在切换阀Ⅲ和切换阀Ⅳ之间设有第二分子筛柱,在切换阀Ⅰ和切换阀Ⅳ之间设有Porapak Q柱,在切换阀Ⅲ上设有脱氧柱和三通转换阀。本发明还提供了一种气体中微量杂质分析方法,只需一次进样的即可完成所有微量杂质的分析,能够分析包括氧气在内的多种高纯气、超纯气及其混合气中的微量杂质,节约分析成本,简化进样操作,加快分析速度。