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一种四氟化硅的纯化方法

基本信息

申请号 CN201510979404.4 申请日 -
公开（公告）号 CN105565324B 公开（公告）日 2019-01-04
申请公布号 CN105565324B 申请公布日 2019-01-04
分类号 C01B33/107 分类 无机化学;
发明人 蒋玉贵;孟祥军;李翔宇;董云海;乔蓓蓓;沙婷;杨庆平 申请（专利权）人 中国船舶重工集团公司第七一八研究所
代理机构 北京理工大学专利中心 代理人 中国船舶重工集团公司第七一八研究所
地址 056027 河北省邯郸市展览路17号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种四氟化硅的纯化方法，属于氟化工、电子工业气体领域。所述方法为：将四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应，得到的产物通过冷阱收集，得到纯化的四氟化硅气体；纯化反应物1为含有氟原子和/或含氯原子的物质；四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应的温度为‑199℃～1999℃，当纯化反应物1为F2时，温度为‑199℃～99℃；四氟化硅粗品气与纯化反应物1进行纯化反应的压力为‑0.09MPa～2MPa。纯化的四氟化硅气体还可进一步与纯化反应物2进行纯化反应，获得纯度更高的四氟化硅。所述方法容易获得高纯度的四氟化硅，产率和安全性高，成本低。