一种气相沉积炉用陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管间防黏连方法
基本信息
申请号 | CN202110420410.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113125027A | 公开(公告)日 | 2021-07-16 |
申请公布号 | CN113125027A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
分类号 | G01K7/02;G01K1/08 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 俞雄俊 | 申请(专利权)人 | 福建康碳复合材料科技有限公司 |
代理机构 | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 金利琴 |
地址 | 365000 福建省三明市永安市贡川镇水东园区21号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开一种气相沉积炉用陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管间防黏连方法,包括以下步骤:材料准备:耐高温陶瓷热电偶一支,刚玉陶瓷护管一支,氮化硼溶液1~2L,碳纤维丝束约5米长和碳毡片;陶瓷热电偶与刚玉陶瓷护管表面用氮化硼溶液处理;对碳纤维丝束预处理;将碳纤维丝束捆裹热电偶本体及刚玉陶瓷护管;将捆裹好的陶瓷热电偶本体与刚玉陶瓷护管组装,将碳毡片塞进护管,组装完成。本发明可以有效地延长陶瓷热电偶在气相沉积炉内的使用寿命,减少更换热电偶频次,提高生产效率。 |
