一种化学冶金提纯多晶硅的方法

基本信息

申请号 CN200810011266.0 申请日 -
公开(公告)号 CN101311114B 公开(公告)日 2011-02-02
申请公布号 CN101311114B 申请公布日 2011-02-02
分类号 C01B33/037(2006.01)I 分类 无机化学;
发明人 谭毅;姜大川;李国斌;许富民;刘艳娇;胡祖麒 申请(专利权)人 大连理工大学技术转移中心有限公司
代理机构 大连理工大学专利中心 代理人 大连理工大学;大连理工高邮研究院有限公司
地址 116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明一种化学冶金提纯多晶硅的方法属于用化学冶金提纯多晶硅的技术领域,特别涉及一种利用酸、碱等化学手段提纯硅到99.99%纯度的多晶硅的方法。利用扫描电镜观察、记录工业硅晶粒的大小,再将硅晶粒破碎到合适的程度,并用氢氧化钠溶液去除硅粉的氧化层及杂质铝,用浓度氢氟酸进行酸洗,去除金属复杂相;用水清洗直到溶液呈中性,得到高纯度的硅材料。这种提纯多晶硅的方法成本低、能耗小、操作简单、可行性高。