石英管抽真空加热炉

基本信息

申请号 CN202023126916.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214060714U 公开(公告)日 2021-08-27
申请公布号 CN214060714U 申请公布日 2021-08-27
分类号 C30B33/02(2006.01)I;C30B29/42(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘卫国;莫里斯·杨;刘文森;周文婉 申请(专利权)人 朝阳通美晶体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 122300辽宁省朝阳市喀左县经济开发区306室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及石英管抽真空加热炉,其包括电加热箱、工作台、调节组件、接头、真空泵,电加热箱设置于工作台上,工作台下方设有导向通道,调节组件包括导向架、调节丝杠、固定架,固定架设置于导向架端部,导向架设置于导向通道内,导向架一端连接调节丝杠,接头设置于固定架上部,接头一端连接真空管,真空管连接真空泵。本实用新型石英管放置于电加热箱中固定不动,通过调节丝杠带动接头移动,接头与石英管对接,从而方便石英管的抽真空、加热操作。