半导体单晶材料加热炉
基本信息
申请号 | CN202023116203.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215404660U | 公开(公告)日 | 2022-01-04 |
申请公布号 | CN215404660U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 莫里斯·杨;刘卫国;周文婉;李志高 | 申请(专利权)人 | 朝阳通美晶体科技有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 122300辽宁省朝阳市喀左县经济开发区306室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及半导体单晶材料加热炉,其包括机架、加热套、托架、升降组件,机架上部设有加热套,加热套两侧分别连接固定杆,固定杆下方固定连接摆动臂,摆动臂下端设有第一螺杆,加热套下方设有托架,托架下方设有升降组件。本实用新型可用于对石英管进行垂直加热,方便对石英管进行放置、卸载。 |
