半导体单晶材料加热炉

基本信息

申请号 CN202023116203.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215404660U 公开(公告)日 2022-01-04
申请公布号 CN215404660U 申请公布日 2022-01-04
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B29/40(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 莫里斯·杨;刘卫国;周文婉;李志高 申请(专利权)人 朝阳通美晶体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 122300辽宁省朝阳市喀左县经济开发区306室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及半导体单晶材料加热炉,其包括机架、加热套、托架、升降组件,机架上部设有加热套,加热套两侧分别连接固定杆,固定杆下方固定连接摆动臂,摆动臂下端设有第一螺杆,加热套下方设有托架,托架下方设有升降组件。本实用新型可用于对石英管进行垂直加热,方便对石英管进行放置、卸载。