一种分析电子级混合气组分含量的装置
基本信息
申请号 | CN201621037024.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN205982240U | 公开(公告)日 | 2017-02-22 |
申请公布号 | CN205982240U | 申请公布日 | 2017-02-22 |
分类号 | G01N33/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 李平;沈栋;韩琼 | 申请(专利权)人 | 梅塞尔特种气体(苏州)有限公司 |
代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 梅塞尔特种气体(苏州)有限公司 |
地址 | 215220 江苏省苏州市吴江经济开发区南村路158号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及一种分析电子级混合气组分含量的装置,包括:取样管路、吹扫管路、抽真空管路以及检测机构,取样管路具有连接电子级混合气气源的连接口,吹扫管路、抽真空管路以及检测机构分别与取样管路相连通;抽真空管路包括抽吸机构、气体抽真空管路,气体抽真空管路连接在取样管路连接检测机构的上游。本实用新型使样品气彻底隔绝空气,不会与空气接触自燃,避免事故发生;样品气不会与空气接触,不会反应产生固体颗粒损坏系统部件;有效排除了空气稀释的干扰,组分含量分析不受影响;样品气不与空气接触,不会发生反应,组分含量完全保留;分析系统有真空装置,分析速度快,减少了样品气用量。 |
