一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构
基本信息
| 申请号 | CN202220525283.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216891320U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216891320U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 章磊;李有群;贺贤汉;董志勇;吴寒;顾雪龙 | 申请（专利权）人 | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济开发区西湖三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，包括箱体，所述箱体的顶端铰接有盖体，且箱体的一侧外壁设置有散热窗口，并且箱体的另一侧外壁安装有风扇，所述箱体的内壁固定设置有六组固定板，两个所述固定板的内侧设置有用以夹持的夹持组件，且两个所述固定板的内侧设置有限位组件，所述限位组件用以对所述夹持组件定位，所述箱体的内部设置有与其滑动配合的支撑板，该一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，通过多组第一夹板与第二夹板在固定架内活动，方便对不同直径的坩埚进行夹持隔开，且通过双向丝杆带动压板压紧进行第一夹板和第二夹板的挤压，从而将多个坩埚竖直隔开放置，提高散热效果。 |
